- экстремальная ультрафиолетовая литография
- Компьютерная техника: ЭУФЛ
Универсальный англо-русский словарь. Академик.ру. 2011.
Универсальный англо-русский словарь. Академик.ру. 2011.
Фотолитография в глубоком ультрафиолете — Схема работы литографии в EUV. Фотолитография в глубоком ультрафиолете (Extreme ultraviolet lithography, EUV, EUVL … Википедия
ЭУЛ — экстремальная ультрафиолетовая литография техн. Источник: http://ict online.ru/news/n87629/ ЭУЛ электронное управление лучом техн. Источник: http://www.niip.ru/main.php?page=VP1 … Словарь сокращений и аббревиатур